“见微知著”培训课程：压电MEMS与传感器
主办单位：麦姆斯咨询协办单位：上海传感信息科技有限公司
一、课程简介
近些年，压电MEMS与传感器领域保持高度活跃，从材料体系到器件类型，越来越丰富多元化，推动万物互联的智能化应用。在材料体系方面，产业界建立了多种压电薄膜材料的制备能力：（1）通过“磁控溅射法”或“溶胶-凝胶法”在硅晶圆上沉积氮化铝（AlN）、锆钛酸铅（PZT）等压电薄膜；（2）通过“离子束剥离与转移技术”与“晶圆键合与减薄技术”制备基于单晶压电薄膜异质衬底，例如绝缘体上压电薄膜（POI）晶圆，包括绝缘体上铌酸锂薄膜（LNOI）晶圆、绝缘体上钽酸锂（LTOI）晶圆。在器件类型方面，射频声学滤波器、压电超声波指纹识别传感器已经在智能手机上展现科技魅力；以压电MEMS超声换能器（PMUT）、压电MEMS扬声器、压电MEMS麦克风、压电MEMS微镜为代表的新兴器件也在不断探索新功能、新应用，以期挖掘高价值的蓝海市场。
典型的压电MEMS传感器
典型的压电MEMS执行器以PMUT为例，21世纪以来，MEMS为超声技术发展注入新的动力，在降低大批量生产成本的同时，实现了低功耗、微型化、一体化集成的MEMS超声换能器，使其具有替代传统的压电陶瓷超声换能器的潜力。近些年，PMUT产品接连面世并成功应用于智能手机、笔记本电脑、汽车、无人机、机器人、智能家居以及医疗器械等。2023年，基于压电MEMS的固态散热解决方案创新公司Frore Systems宣布，搭载其PMUT主动散热芯片（AirJet）解决方案的笔记本电脑将于2023年发布，能够提供比传统风扇更好的散热效果，同时产生的噪声更低。Frore Systems表示，利用PMUT产生的强大气流，可使得冷空气通过顶部的通风口进入AirJet散热芯片，并从侧边的通风口带走处理器产生的热量。更多的新兴市场机遇正在孕育之中，无论是“元宇宙（Metaverse）”的人机交互，还是“即时诊断（POCT）”的超声成像，都在吸引着众多创业者和投资人。相关报告：《微机械超声换能器专利态势分析-2023版》
AirJet散热芯片解决方案的工作原理（来源：Frore Systems）
详情：基于压电MEMS的固态散热芯片：有望颠覆传统的风扇散热方式？以MEMS扬声器为例，MEMS技术正在音频领域掀起一场变革——实现扬声器的微型化和集成化。近些年，随着以USound、xMEMS为代表的压电式MEMS扬声器创业公司不断打磨技术能力并完善产业链，多款MEMS扬声器新产品应运而生并逐步渗透至可穿戴及便携式设备，以取代平衡电枢式扬声器等传统扬声器。2022年4月底，全球MEMS龙头企业博世（Bosch）宣布收购静电式MEMS扬声器创业公司Arioso Systems。这为博世MEMS产品组合带来扩充，也为MEMS扬声器市场注入了一剂强心针。根据USound的市场预测：从2023年起，MEMS扬声器市场将一路走高；从2024年起，平衡电枢式扬声器市场份额将明显减少；预计到2025年，MEMS扬声器将在TWS耳机领域中占据50%的市场份额。这种快速增长源于可穿戴设备的小型化发展趋势，以及消费电子市场对元器件的微型化、低成本、低功耗的需求。
典型的MEMS扬声器公司及产品
（来源：《MEMS扬声器专利态势分析-2022版》）在无线通信系统中，射频前端技术被视为一项关键技术，而射频滤波器作为射频前端的核心部件，具有频率选择以及抑制干扰信号的功能。基于压电效应的声波滤波器，主要包括三种类型：声表面波（SAW）、体声波（BAW）、板波（LW），凭借性能、体积、工艺等优势已成为移动射频前端的主流选择。5G及未来6G无线通信系统对射频前端声波滤波器的频率、损耗、带宽、功率容量、温度稳定性等性能提出了更高的要求；同时，大规模多输入多输出和多载波聚合等技术引入后，移动终端对滤波器数量的需求也越来越多。然而，基于钽酸锂（LiTaO3）与铌酸锂（LiNbO3）等压电晶体的传统SAW滤波器的频率、Q值、温度稳定性等始终难以突破；基于氮化铝（AlN）的BAW滤波器的带宽难以满足5G通信需求；基于掺杂氮化铝的BAW滤波器带宽可进一步提高，然而其材料损耗与工艺难度也急剧增加。近几年发展的基于单晶压电薄膜异质衬底的声波滤波器展现出突破性的性能，可以实现更高频率、更低损耗、更大带宽与更高功率容量，具有广泛的应用前景。
三种不同材料结构的剪切体声波谐振器：（左）基于单层LiNbO3薄膜；（中）基于LiNbO3-SiO2双层薄膜；（右）基于AlN-LiNbO3双层薄膜（来源：《导航与控制》）时不我待，全球MEMS产业领域的两大IDM巨头——博世（Bosch）和意法半导体（STMicroelectronics）已积极投身于压电MEMS产业化浪潮之中，对外提供压电MEMS研发及代工服务，确保各种新产品的量产能力和可靠性。而在国内方面，上海微技术工业研究院、苏州纳米城MEMS中试平台、国家智能传感器创新中心都展现了压电MEMS工艺能力，投身于新技术培育孵化和多功能产品定义。中芯集成、中芯宁波、赛微电子等MEMS代工厂主要在射频声波滤波器领域展开布局。2021年，国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”的项目启动会在天津召开，对实现晶圆级硅基MEMS压电器件的大规模生产、摆脱我国目前关键压电MEMS器件受制于人的局面，具有重要而深远的意义。
在本次培训课程中，麦姆斯咨询邀请压电MEMS与传感器领域的科研学者及企业高管，为大家梳理关键技术发展之路，讲授典型器件知识和经验，并结合应用需求展望未来趋势。课程内容包括：（1）基于压电陶瓷的超声阵列传感技术及无感式健康监测；（2）基于ScAlN PMUT的时差式超声波流量计及PMUT应用探索；（3）压电MEMS微镜和压电MEMS变形镜；（4）压电MEMS扬声器；（5）压电MEMS声学传感器；（6）极端环境中的无线无源SAW传感器；（7）柔性和超高频SAW传感器；（8）压电MEMS谐振器与振荡器；（9）基于铌酸锂压电薄膜的MEMS谐振器和滤波器；（10）基于单晶压电薄膜异质衬底的射频声波滤波器研究进展；（11）基于Al(Sc)N/FeGa磁电材料的MEMS天线。
二、培训对象
本课程主要面向压电MEMS与传感器产业链上下游企业的技术人员和管理人员，以及高校师生，同时也欢迎其他希望了解压电MEMS与传感器的非技术背景人员参加，如销售和市场人员、投融资机构人员、政府管理人员等。
三、培训时间
2023年8月11日~8月13日
授课结束后，为学员颁发麦姆斯咨询的结业证书。
四、培训地点
无锡市（具体地点以培训前一周的邮件通知为准）
五、课程内容
课程一：基于压电陶瓷的超声阵列传感技术及无感式健康监测
老师：中国科学院空天信息创新研究院 研究员 方震
基于压电陶瓷的超声阵列传感技术可用于心肺音听诊，实现心血管及呼吸系统等领域的健康监测及疾病诊断。以心冲击图（BCG）为例，它来源于心脏泵血过程中血液流动在人体内部产生的一系列机械冲击力，是一种无创、无接触式的心血管功能监测手段。在各种心冲击图监测方案中，压电陶瓷传感器由于其灵敏度高、价格低廉、设计灵活等优势，具有良好的应用前景。通过基于压电陶瓷传感器的非接触式监测方案采集心冲击图，可以提取逐拍心率，进而计算出心率变异性（HRV）指标。本课程全面讲解基于压电陶瓷的超声阵列传感技术、器件、应用及无感式健康监测设备。
课程提纲：
1. 新型医疗电子检测技术概述；
2. 基于压电陶瓷的超声阵列传感技术、器件及医学应用；
3. 基于压电陶瓷的无感式设备及其医学应用；
4. 无线无感式设备及其医学应用。
课程二：基于ScAlN PMUT的时差式超声波流量计及PMUT应用探索
老师：上海微技术工业研究院 总监 娄亮
时差式超声波流量计（TTUF）是最广泛使用的流量测量设备之一。然而，传统的TTUF通常基于块体型压电换能器，这限制了其在小直径通道中的应用。利用压电式微机械超声换能器（PMUT）取代块体型压电换能器，可以有效突破这一限制。娄亮博士团队近期开发出一种基于掺钪氮化铝（ScAlN）PMUT的小型化TTUF，在直径为4 mm的通道中实现了2∼300 L/h大范围内流量测量。这款TTUF的准确度和重复性分别在0.2%和1%以内，在医疗和化工等方面显示出巨大的应用潜力。本课程详解ScAlN PMUT核心技术及其在超声波流量计中的应用，最后还会展望PMUT应用前景。
课程提纲：
1. 超声波流量计 vs. 其他流量计；
2. 时差式超声波流量计原理与结构；
3. ScAlN PMUT设计、制造与表征；
4. 基于ScAlN PMUT的时差式超声波流量计；
5. PMUT应用探索；
6. SITRI压电MEMS工艺平台。
课程三：压电MEMS微镜和压电MEMS变形镜
老师：华中科技大学 教授 余洪斌
MEMS微镜指采用MEMS制造技术，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学器件，在激光雷达（LiDAR）、3D摄像头、AR近眼显示、微投影仪、汽车智能前灯、光通信等应用扮演着重要角色。MEMS变形镜是自适应光学系统的关键元器件，能够产生可控的波面校正量对波面相位加以校正，可以应用于天文观测、生物医学成像、显微成像、自由空间光通信等领域。本课程从四种典型的MEMS驱动技术出发，详解基于氮化铝（AIN）的MEMS微镜和MEMS变形镜原理、技术、实例及未来发展。
课程提纲：
1. MEMS微镜基本概念及驱动技术（压电驱动、静电驱动、电磁驱动、电热驱动）特性分析；
2. 压电MEMS微镜技术发展现状及其面临的问题和解决方案；
3. 压电MEMS微镜器件设计和制造实例；
4. 自适应光学基本概念和工作原理；
5. 压电MEMS变形镜技术发展现状及其面临的问题和解决方案；
6. 压电MEMS变形镜器件设计和制造实例。
课程四：压电MEMS扬声器
老师：北京理工大学 副教授 逯遥
MEMS扬声器是一种将电信号转变为声信号的微型换能器，其核心组件（例如执行器/驱动器、振膜、热声膜等）利用MEMS技术在半导体材料上制造而成。MEMS扬声器可以通过全自动化生产线制造，而平衡电枢式扬声器需要手工组装。相比平衡电枢式扬声器，MEMS扬声器尺寸较小，占用系统PCB板的空间更少，从而有利于系统集成商添加更多传感器以实现更多功能，或者采用更大容量的电池以提升系统的运行时间。此外，MEMS扬声器还具有低成本、低功耗、高可靠性、易于集成等优点。本课程对比四种（压电式、电动式、静电式、热声式）MEMS扬声器优劣，重点讲解压电MEMS扬声器原理、设计、制造，最后还对研发进展进行总结与展望。
课程提纲：
1. MEMS扬声器研究背景；
2. 不同工作原理的MEMS扬声器对比；
3. 压电MEMS扬声器的工作原理；
4. 压电MEMS扬声器的设计与制造；
5. 压电MEMS扬声器研发进展总结与展望。
课程五：压电MEMS声学传感器
老师：武汉大学 讲师 刘文娟
近些年，压电MEMS技术在声学传感领域发展迅速，典型应用包括麦克风、超声换能器、水听器等。以压电薄膜替代传统电容结构的压电MEMS麦克风的主要优点包括：（1）高可靠性，防水防尘性能优秀；（2）无需电荷泵，降低语音唤醒和始终在线的功耗；（3）更快的响应速度，减少语音交互延迟；（4）高声学过载点（AOP），可用于嘈杂或工业环境。对于压电MEMS超声换能器，得益于压电薄膜制备及集成技术的发展，使其在ToF测距、超声成像、指纹识别等应用领域取得重要产业化进展。本课程从压电薄膜材料生长到压电器件设计与制造，全面剖析麦克风和超声换能器两大类压电MEMS声学传感器核心技术。
课程提纲：
1. 压电MEMS声学传感器概述；
2. 压电薄膜材料及制造平台；
3. 压电MEMS超声换能器设计与制造；
4. 压电MEMS麦克风设计与制造；
5. 压电MEMS声学传感器系统展望。
课程六：极端环境中的无线无源SAW传感器
老师：华中科技大学 教授 罗为
先进传感器尤其是适应极端环境下的传感器，更是制造领域的制高点和“卡脖子”需求。对于航空航天装备、汽车轮胎、输电配电、城市管网等领域，分别面临极端温度、高速旋转、高压（电压10KV以上）等极端环境下的多参量感知，上述环境要求传感器必须无线传感信号获取且不能有源工作，在野外甚至外太空环境下分布式、长期实时监测等。声表面波（SAW）传感器天然地适应极端环境，而且可以实现无线无源测量方式，能够解决制约相关装备在极端温度环境下多物理量测量的瓶颈问题。本课程详细讲解各种极端环境中的SAW传感器，包括温度、压力、气体等类型，最后对SAW传感器技术发展进行展望。
课程提纲：
1. SAW传感器基础；
2. 极端环境SAW温度传感器及标签；
3. 极端环境SAW压力传感器；
4. 极端环境SAW气体传感器；
5. 极端环境SAW传感器展望。
课程七：柔性和超高频SAW传感器
老师：湖南大学 博士生导师、岳麓学者 周剑
SAW器件的声波传播能量主要集中在固体表面，当固体表面受到外界的刺激（力、电、磁、热）时，声波波速变化，导致谐振频率变化，通过探测频率偏移，实现对外界参量（如温度、粘度、气体浓度、曲度）的探测。相较于传统的硬质SAW器件，新型柔性SAW器件能贴附在曲面上进行弯曲曲面监测，在可穿戴传感、智能蒙皮等领域具有广泛应用前景。本课程综述柔性和超高频SAW传感器的基本原理、设计、制造和应用方面的进展，重点讲授高性能柔性SAW传感器在材料选择（包括柔性衬底和压电薄膜）和结构设计方面的挑战，系统地总结柔性和超高频SAW传感器的制造策略、波模式理论、工作机理、弯曲应变行为、性能/评估方面的最新进展。
课程提纲：
1. SAW技术基本概念；
2. SAW传感器原理和应用；
3. 柔性SAW器件材料、工艺和波模式理论；
4. 柔性SAW传感器应用；
5. 超高频超灵敏SAW制备和传感探测；
6. 无线无源SAW传感器。
课程八：压电MEMS谐振器与振荡器
老师：武汉大学 教授 吴国强
时钟器件是电子电路设备的心脏，提供时间参考和频率基准。MEMS时钟器件（例如MEMS振荡器）是MEMS细分市场增速领先的产品。相比传统的石英晶体振荡器，压电MEMS振荡器具有小尺寸、高可靠性、低功耗和可编程等优势，在可穿戴设备、物联网、智能手机和汽车等领域具有广阔的应用前景。以汽车应用为例，石英晶体振荡器容易受到振动、冲击以及极端温度的影响，并随着时间的推移出现性能退化——这使得传统的时钟器件成为当今复杂汽车电子系统中最薄弱的环节之一，而车规级MEMS振荡器则可以应对这一安全性和可靠性挑战。本课程介绍MEMS谐振器与振荡器基础知识，重点讲授压电MEMS谐振器设计理论和关键技术，以及系统应用和产业化要点。
课程提纲：
1. MEMS谐振器、振荡器及时钟概念、原理及分类；
2. MEMS时钟器件产业情况及主要厂商；
3. 压电MEMS谐振器设计理论；
4. 压电MEMS谐振器关键技术；
5. 温度补偿压电MEMS谐振器与振荡器；
6. 微腔恒温压电MEMS谐振器与振荡器。
课程九：基于铌酸锂压电薄膜的MEMS谐振器和滤波器
老师：上海科技大学 研究员 吴涛
随着5G通信技术在全球快速商业化，市场对5G频段的射频滤波器需求急剧增长。基于压电薄膜的声学谐振器作为实现高性能射频滤波元件的有效解决方案之一，具有高性能、低成本、器件尺寸小的优点，因此备受关注。本课程根据常见压电材料的材料性质，分析氮化铝（AlN）和铌酸锂（LiNbO3）薄膜在声学滤波技术中备受关注的原因；介绍不同声学谐振器原理、结构和关键参数，以及构成滤波器的拓扑；解析有望应用于5G频段的基于铌酸锂薄膜谐振器/滤波器的核心技术，着重讲授横向激发体声波谐振器（XBAR）的原理、设计及其在5G Sub-6GHz乃至毫米波频段滤波器中的应用。
课程提纲：
1. 压电谐振器/滤波器基本原理；
2. 压电谐振器等效模型；
3. LiNbO3切向选型；
4. 基于LiNbO3薄膜的XBAR谐振器和滤波器；
5. 基于LiNbO3薄膜的MEMS谐振器和滤波器技术展望。
课程十：基于单晶压电薄膜异质衬底的射频声波滤波器研究进展
老师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 副研究员 张师斌
近些年，随着异质集成材料制备工艺（例如“离子束剥离与转移技术”与“晶圆键合与减薄技术”）的突破，基于单晶压电薄膜异质衬底（例如LiTaO3/SiO2/Si）的声表面波（SAW）、体声波（BAW）与板波（LW）滤波器技术屡有突破，可以满足5G及未来6G无线通信系统对射频前端声波滤波器的频率、损耗、带宽、功率容量、温度稳定性等性能的高要求。本课程结合当下技术热点，依次对单晶压电薄膜异质衬底制备、声波器件仿真、声表面波与板波滤波器技术的研究进展进行介绍与分析，并对未来射频声波滤波器的技术发展进行展望。
课程提纲：
1. 单晶压电薄膜异质衬底制备技术；
2. 声波谐振器与滤波器仿真技术；
3. 基于单晶压电薄膜异质衬底的声表面波滤波器技术；
4. 基于单晶压电薄膜异质衬底的板波滤波器技术；
5. 声波滤波器技术总结与展望。
课程十一：基于Al(Sc)N/FeGa磁电材料的MEMS天线
老师：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 高级工程师 林文魁
基于声波激励的磁电天线通过“电-声-磁”和“磁-声-电”能量转换过程实现电磁信号的发射和接收，克服了欧姆损耗，具有辐射效率高、尺寸小和匹配电路简单等优点，并且可以利用成熟的MEMS制造工艺实现芯片化——这是天线小型化的重要技术方向之一，在物联网（IoT）、GPS导航、增强现实（AR）和虚拟现实（VR）等数字领域具有巨大应用前景和经济价值。本课程讲授基于Al(Sc)N/FeGa磁电材料的MEMS天线的理论基础、研究发展概况，以及设计、制备与表征等关键技术。
课程提纲：
1. 磁电效应的理论基础；
2. 磁电MEMS天线的发展概况；
3. 基于声波效应的磁电MEMS天线设计、制备与表征；
4. 磁电MEMS天线与滤波器；
5. 磁电MEMS天线总结与展望。
六、师资介绍
方震，博士，中国科学院空天信息创新研究院研究员、博士生导师，中国科学院大学教授，中国医学科学院“个性化呼吸慢病管理”创新单元主任，中国医学科学院医学与健康科技创新工程首席专家，入选中国科学院王宽诚人才奖。他还担任互联网+医疗健康工作委员会副主任委员、医学装备人工智能联盟皮肤科委员会副主任委员、医学检验工程分会常委、移动医疗专业委员会委员、医学数据与医学计量分会委员等职务。他主要从事新型医疗电子和医学人工智能技术研究，完成国家级科研项目20余项，在可穿戴式技术、新原理新方法医疗电子技术和医学人工智能等研究领域取得多项创新性研究成果；在国内率先开展压电陶瓷传感器、毫米波雷达等无感式测量设备在心血管疾病、脑卒中和慢阻肺等领域的数字疗法研究；完成基于恒定容积法及容积控制技术的无创连续血压及血流动力学检测设备的国内首台套研制；研制系列化穿戴式新型医疗设备，以及基于无线自组网传输网络及平台系统，在“和平方舟”号医院船开展应用，首次实现单兵医疗急救数据贯穿于整个救治链，保证海上医疗救治活动连续性，提升我国海上远程医疗救治水平。他发表论文150余篇（SCI/EI检索135篇），申请国家发明专利60余项，获授权40余项，曾获第十届国际发明展览会“发明创业奖”金奖、2020年产学研促进会创新成果一等奖、军事科学技术进步奖一等奖。他参与HealthCom、COMPSAC、APCOT、ICIA、ICMAN等医疗电子、计算机、传感器相关领域国际会议筹备，并做会议特邀报告和主持会议，还担任Computer in industry等SCI期刊的医疗电子技术相关专刊主编。
娄亮，博士，现任上海微技术工业研究院（SITRI）总监、MEMS工艺平台负责人，上海大学微电子学院连聘导师。2008年本科毕业于中国科学技术大学，2012年博士毕业于新加坡国立大学。2009年起加入新加坡微电子研究院（IME）至2018年回国，历任科学家、压电声学传感器主管，迄今有14年8英寸MEMS产线的设计、管理与产业经验。在新加坡期间主持开发了水听、测距、超声指纹等压电声学芯片与平台，转移氮化铝（AlN）超声工艺平台至格罗方德半导体公司进行量产。迄今在相关领域顶级国际期刊和会议上发表论文40余篇，授权美国专利2项，申请授权国内专利15项。
余洪斌，博士，华中科技大学教授（楚天学者特聘教授）。2005年毕业于华中科技大学获得光学工程博士学位，随后赴新加坡国立大学从事微电子（光电子）机械系统（MEMS/MOEMS）技术领域的研究工作，历任研究员和高级研究员；曾担任新加坡科技局微电子研究院研究员、项目负责人（PI），同时担任新加坡国立大学机械工程系客座助理教授。他一直从事基于MEMS/MOEMS技术新型功能器件（诸如MEMS微镜、MEMS变形镜、可变焦透镜及MEMS声学器件等）的结构设计、制备工艺、封装测试及其系统应用方面的研究工作。近年在Applied Physics Letters、Optics Express、Optics Letters、Sensors and Actuators B、Sensors and Actuators A、IEEE Journal of Microelectromechanical Systems、IEEE Journal of selected topic on quantum electronics、Journal of Micromechanics and Microengineering等相关领域的国际、国内核心期刊上发表论文90余篇，撰写书本章节并多次受邀在相关领域国际会议上做专题报告。作为核心成员申请和获授权国内、国际专利23项（16项中国专利、7项美国专利），其中2项专利成功获得商业转让。同时，他长期担任十余种国内、国际期刊的特邀审稿人，主持或参与多个研究项目，包括国家重点研发计划、国家自然科学基金、新加坡教育部基金、新加坡国家研究基金、新加坡科技局项目和华为技术开发项目等。
逯遥，博士，北京理工大学集成电路与电子学院预聘副教授（特别研究员）、博士生导师。她本科和博士（直博）就读于天津大学精密仪器与光电子工程学院的仪器科学与技术专业，期间获国家公派奖学金赴荷兰特文特大学进行联合培养，获得天津大学与荷兰特文特大学双博士学位。2018至2021年在荷兰特文特大学MESA+纳米研究所进行博士后研究，2021年加入北京理工大学集成电路与电子学院谢会开教授的课题组，主要研究方向为声学MEMS（例如MEMS扬声器）、声流控、压电谐振器、生物化学传感器、射频通讯器件等，在Small、Angewandte Chemie等期刊发表多篇学术论文，任Nanotechnology and Precision Engineering期刊青年编委。
刘文娟，博士，武汉大学工业科学研究院讲师，博士毕业于复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室。她曾先后在新加坡南洋理工大学、新加坡微电子研究院及法国国家科研中心电子微纳米技术研究所学习，研究方向为压电MEMS器件及应用，主要从事压电MEMS声学传感器设计与制备、氮化铝/掺钪氮化铝薄膜生长、高分辨率超声成像系统等研究。在IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control、IEEE Sensors Journal、IEEE IUS等著名国际期刊及高水平国际会议上发表论文20余篇，申请中国发明专利14项，已授权5项，主持中央高校专项基金和横向项目2项，参与包括国家科技部重点研发计划、国家自然科学基金、湖北省重大项目以及重要企业横向项目共6项。
罗为，博士，华中科技大学华中学者特聘教授，国家青年人才项目获得者，现任华中科技大学集成电路学院院长助理。他博士毕业于华中科技大学，之后在美国密西根大学安娜堡分校从事博士后研究。他主持压电MEMS器件方面的国家自然科学基金面上项目2项、国家重点研发计划项目1项，在ACS Nano、Small、Nano Research、Sens. & Actuatos B等期刊上以第一作者或通讯作者发表学术论文30余篇，影响因子大于10的文章8篇，高被引文章2篇，H因子24。他申请发明专利12项，授权发明专利8项（含2项美国专利），在传感器方面的研究分别获得了2018年中国电子学会技术发明一等奖（第2）和2014年中国电子学会科技进步一等奖（第6）。他主导开发的声表面波（SAW）传感器在嫦娥月球探测器、火星车、汽车、燃气行业的温度、压力和应变探测方面得到应用，目前在主持嫦娥七号试验载荷中气体探测模块的开发项目。
周剑，博士，湖南大学副教授、博士生导师、岳麓学者，英国爱丁堡大学访问学者，装备预研教育部联合基金（青年人才）项目和湖南省自然科学基金优秀青年基金获得者，长沙市青年岗位能手。他长期从事SAW传感器研究，在SAW传感器基础材料加工、芯片设计、理论仿真、器件加工和传感应用等方面积累了丰富的经验。他承担了国家自然科学基金面上项目、青年基金、科技委基础加强基金、湖南省科技公关项目、湖南省重点研发子课题、广东省重点研发子课题等十余个项目。在Engineering、npj Flexible Electronics、ACS sensors、CEJ、APL等期刊发表了SCI/EI论文80余篇，授权发明专利20余项。他获得湖南省仪器仪表学会科学技术奖一等奖、中国中车科学技术奖二等奖、湖南省仪器仪表学会优秀学术论文一等奖、校优秀教师新人奖等。
吴国强，博士，武汉大学青年学术带头人、教授、博士生导师，主要从事MEMS谐振器和振荡器、压电声学MEMS传感器、MEMS惯性传感器的研究工作。2013年从中国科学院上海微系统与信息技术研究所获得工学博士学位，曾担任中航工业自控所惯性MEMS传感器研发工程师、新加坡科技局微电子研究院研究员。他入选湖北省人才项目，获批湖北省自然科学基金杰出青年项目。他作为独立项目负责人主持含国家自然科学基金、国家重点研发计划课题、企业资助技术开发等多项科研项目。近年来在JMEMS、IEEE EDL、IEEE TIE、IEEE TED等领域主流期刊上发表学术论文60余篇，申请国内专利50余项。
吴涛，博士，上海科技大学研究员、助理教授、博士生导师。2007年本科毕业于浙江大学电子工程专业，2011年获得美国加州大学洛杉矶分校博士学位，博士毕业后曾供职于英特尔（Intel），负责先进CMOS制程的金属与氧化物原子层沉积工艺；之后以博士后研究员身份加入斯坦福大学和美国东北大学，负责微型曲面图像传感器、近零功耗压电射频器件和传感系统的研发。他于2017年7月加入上海科技大学，建立了微系统与先进传感器实验室（SMALL）。迄今为止，他在Microsystems & Nanoengincering、Nature Communication、IEEE Elec. Devi. Lett.、JMEMS、Appl. Phys. Lett.、Phys. Rev. Lett.、ACS Nano、IEEE T-UFFC、IEEE MEMS、TRANSDUCERS等国际著名期刊和会议上发表学术论文100余篇。
张师斌，博士，中国科学院上海微系统与信息技术研究所副研究员，中国科学院青年创新促进会会员，入选中国科协青年人才托举工程、上海市启明星计划等。2015年本科毕业于东南大学，2020年获中国科学院大学微电子学与固体电子学博士学位，2019-2020年在美国伊利诺伊大学香槟分校联合培养，主要研究领域为异质集成XOI材料与射频微声芯片。他以第一/通讯作者身份在微电子领域标志性会议/期刊（IEEE IEDM、TMTT、EDL等）发表学术论文35篇；申请60项发明专利（美国专利3项），授权18项，6项转化；他的研究成果获2022年IEEE微波奖（IEEE Microwave Prize）、2022年首届全国颠覆新技术创新大赛总决赛优胜奖（最高奖）并入选科技部颠覆性技术备选库。他承担国家重点研发计划课题、国家自然重大项目子课题、国家自然青年基金、中国博士后科学基金特别资助（站中）等项目。
林文魁，博士，硕士生导师，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所高级工程师，于2007年、2010年与2022年分别在华东理工大学、中国科学院研究生院和中国科学技术大学获得学士、硕士与博士学位，曾获评“苏州技能大奖”和“苏州工业园区劳动模范”等荣誉称号。他主要从事压电换能器、压电谐振器和磁电耦合器件等压电MEMS器件制备技术与性能研究。他主持/参与课题10余项，在Applied Physics Letters、Journal of Physics D: Applied Physics和Semicond. Sci. Tech.等期刊上发表论文20余篇，申请发明专利10余项，其中授权发明专利6项，技术转移2项。
七、培训费用和报名方式咨询
报名咨询：请发送电子邮件至BISainan@MEMSConsulting.com，邮件题目格式为：报名+压电MEMS与传感器培训+单位简称+人数。
报名网站：
https://www.memstraining.com/training-53.html
培训赞助：请致电联系毕女士（18921125675），或麦姆斯咨询固话（0510-83481111）。
麦姆斯咨询
联系人：毕女士
电话：18921125675
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