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一、MEMS简介 二、MEMS传感器分类及厂家和应用 三、MEMS 行业发展历程与3次产业浪潮 四、国产传感器企业的主要布局区域 五、MEMS产业链流程 六、全球MEMS产业链最有前景的应用领域和市场（2023年） 七、全球&国产MEMS产业链厂家细分（超200家企业&机构） 八、MEMS传感器细分应用介绍 九、MEMS代工产业 十、MEMS封装测试 十一、全球&中国MEMS传感器厂商营收排行（2023年） 十二、MEMS传感器几大应用 十三、MEMS 传感器在智能手机领域的应用 十四、MEMS 传感器在汽车领域的应用 十五、MEMS 传感器在可穿戴设备领域的应用 十六、MEMS 传感器在物联网领域的应用 十七、MEMS传感器在无人机的应用 十八、MEMS传感器在智慧工业时代的应用
三、MEMS 行业发展历程与3次产业浪潮MEMS 起源可追溯至 20 世纪 50 年代，硅的压阻效应被发现后，学者们开始了对硅传感器的研究。然而，MEMS 产业真正发展始于 20 世纪 80 年代，前后经历了 3 次产业化浪潮。
20 世纪 80 年代至 90 年代：1983 年 Honeywell 利用大型刻蚀硅片结构和背蚀刻膜片制作了集成压力传感器，将机械结构与电路集成在一个芯片内。80 年代末至 90 年代，汽车行业的快速发展，汽车电子应用如安全气囊、制动压力、轮胎压力监测系统等需求增长，巨大利润空间驱使欧洲、日本和美国的企业大量生产 MEMS，推动了 MEMS 行业发展的第一次浪潮。
MEMS产业链流程
六、全球MEMS产业链最有前景的应用领域和市场（2023年）据Yole的预计，2022-2028年MEMS终端市场将以5%的年复合增长率增长。其中，消费领域是最大的MEMS应用市场，约占全球 MEMS 收入的 60%，到2028年约有94亿美元的市场。其次是汽车，汽车对MEMS的需求将从2022年的27亿美元上升到41亿美元。剩下的应用市场还有工业领域、医疗、电信、国防与航空航天等，得益于5G网络的普及，通信领域MEMS器件年增长达率到28%，为各领域最高，国防与航天航空和汽车分别以8%和7%排名第二和第三增长最快速的MEMS赛道。
从MEMS器件方面来看，Yole预计，整体MEMS器件市场在2022年至2028年将以5%的年复合增长率增长，到2028年全球MEMS器件市场空间将达到200亿美元。在这其中，射频MEMS器件占大头，到2028年射频MEMS器件大约有41.3亿美元的市场空间，IMUs（惯性测量单元）约25.56亿美元，压力MEMS器件大约是24.9亿美元，加速度计约17.54亿美元，MEMS麦克风约是14.36亿美元，然后是喷墨头、光学、微型测辐射热仪、陀螺仪、微流体等等。
七、全球MEMS产业链厂家细分（超200家企业&机构）
全球MEMS传感器产业链条主要集中在北美、欧洲、日本地区，其中美国、德国、日本三国占据全球传感器产业链主导地位。
从上游到下游，全球MEMS传感器产业链可分为研究与开发→设计→制造→封装→测试→软件→芯片→系统/应用等环节。
八、MEMS传感器细分应用介绍
MEMS传感器种类繁多，主要的MEMS传感器包括运动传感器、压力、麦克风、环境、光传感器等。其中运动传感器可分为陀螺仪、加速度计、磁力计，
1、MEMS运动传感器
MEMS运动传感器主要有加速度计、陀螺仪、磁力计三大类，加速度计和陀螺仪可以集成为六轴惯性传感器；磁力计和加速度计集成为电子罗盘（e-compass），加速度计、陀螺仪和磁力计可集成为9轴传感器。
MEMS陀螺仪是通过陀螺仪的核心原理科里奥利力测角速度的；MEMS加速度计可以感知任意方向上的加速度。MEMS磁力计通过测试磁场强度和方向可以定位设备的方位。
MEMS 制造主要指 MEMS 芯片制造，行业内主要经营模式包括两类，一类是依靠自有生产线进行生产，另一类则是外包给 MEMS 代工厂进行生产。行业内提供 MEMS 制造代工服务的企业，从芯片类型和产业价值链来看，主要分为三类，即纯 MEMS 代工、IDM 企业代工以及传统集成电路 MEMS 代工。
1、纯 MEMS 代工
纯 MEMS 代工企业不提供任何设计服务，企业根据客户提供的 MEMS 芯片设计方案，进行工艺制程开发以及代工生产服务。代表企业有公司、TeledyneDalsa、IMT 等。
2、IDM 企业代工
IDM 企业即垂直整合器件制造商，该类厂商除了进行集成电路设计之外，一般还拥有自有的封装厂和测试厂，其业务范围涵盖集成电路的设计、制造、封装和测试所有环节。由于晶圆制造、封装和测试的生产线建设均需要巨额资金投入，因此 IDM 模式对企业的研发力量、资金实力和市场影响力都有极高的要求。在满足自身晶圆制造需求后，IDM 企业会将剩余的产能外包出去，提供 MEMS代工服务。采用 IDM 代工模式的企业均为全球芯片行业巨头，主要代表为博世（Bosch）、意法半导体（STMicro）、德州仪器（TI）等企业。
3、传统集成电路 MEMS 代工
传统集成电路（主要为 CMOS）代工企业以原有的 CMOS 产线为基础，嵌套部分特殊的生产 MEMS 工艺技术，将旧产线转化为 MEMS 代工线。由于批量生产能力突出，传统集成电路企业往往会集中向出货量较高的消费电子领域的MEMS 产品提供代工，该类代工企业以台积电（TSMC）、Global Foundries 等为代表。
历史发展过程中，由于 MEMS 产品在材料、加工、制造工序等单个产品差异较大，器件标准化程度较低，影响了产业垂直分工的发展，行业以 IDM 企业为主导。近年来，随着 MEMS 技术的发展和市场需求的逐渐兴起，MEMS 标准化的程度大大发展，平台化基础正在形成，越来越多的 MEMS 产品的产业链垂直分工条件日趋成熟。
中国大陆本土MEMS厂商营收方面，据2023年3月份公布的“2021中国MEMS十强企业”名单显示 ，按MEMS业务销售额统计，排名前十的企业分别为：歌尔微电子、瑞声科技、美泰科技、美新半导体、矽睿科技、华润微、敏芯股份、士兰微、西人马。相关信息参看《最新中国MEMS传感器10强企业名单公布！》
十二、MEMS传感器几大应用
可穿戴设备应用
以小米手环为例，就用到了ADI的MEMS加速度和心率传感器来实现运动和心率监测。
Apple Watch内部除了MEMS加速度计、陀螺仪、MEMS麦克风，还有使用脉搏传感器。
VR应用
VR设备需要足够精确测定头部转动的速度、角度和距离，采用MEMS加速度计、陀螺仪和磁力计来进行测定是重要的解决方案之一，几乎成为VR设备的标配。Oculus Rift、HTC Vive、PlayStation VR都采用了MEMS加速度计和陀螺仪，未来VR设备也可能会使用MEMS眼球追踪技术。
无人机应用
无人机飞行姿态控制技术上，MEMS传感器又有了施展的空间。结合加速度计和陀螺仪，可以算出角度变化，并确定位置和飞行姿态。MEMS传感器能在各种恶劣条件正常工作，同时获得高精度的输出。MEMS加速度计和陀螺仪在无人机上的应用可谓是大放异彩。
智能汽车应用
车联网是物联网发展的重大领域，智能汽车是车联网的核心，正处于高速发展中。在智能汽车时代，主动安全技术成为备受关注的新兴领域，需要改进现有的主动安全系统，比如侧翻（rollover）与稳定性控制（ESC），这就需要MEMS加速度传感器和角速度传感器来感测车身姿态。语音将成为人与智能汽车的重要交互方式，MEMS麦克风将迎来发展新机遇。MEMS传感器在汽车领域还有很多应用，包括安全气囊（应用于正面防撞气囊的高g值加速度计和用于侧面气囊的压力传感器）、汽车发动机（应用于检测进气量的进气歧管绝对压力传感器和流量传感器）等。
十三、MEMS 传感器在智能手机领域的应用1. 光线传感器说到手机中的传感器，首先要说的就是光线传感器，它就好比手机的眼睛。我们人类的眼睛可以在不同光线的环境下，调整进入眼睛的光线。而光线传感器则可以让手机感测环境光线的强度，用来调节手机屏幕的亮度。原理：光敏三极管，接受外界光线时，会产生强弱不等的电流，从而感知环境光亮度。应用：通常用于调节屏幕自动背光的亮度，白天提高屏幕亮度，夜晚降低屏幕亮度，使得屏幕看得更清楚，同时不刺眼；可用于拍照时调节自动白平衡；用光线传感器来协助调整屏幕亮度，能进一步达到延长电池寿命的作用；光线传感器也可搭配其他传感器一同来侦测手机是否被放置在口袋中，以防止误触。产品代表：ST （意法半导体）——OPT3007超薄环境光传感器，传感器的精密光谱响应与人眼的明视响应高度匹配。应用手机：苹果iPhone XR、vivo X23、华为Mate 20、三星GALAXY Note 9等。
3.重力传感器原理：利用压电效应实现，传感器内部一块重物和压电片整合在一起，通过正交两个方向产生的电压大小，来计算出水平方向。应用：手机横竖屏智能切换；拍摄照片方向；重力感应类游戏，例如平衡球、赛车游戏等。产品代表：苹果研发的重力感应设备。
4. 加速度传感器原理：加速度传感器是多个维度测算的，主要测算一些瞬时加速或减速的动作。功耗更小，但是精度低。应用：计步，加速度传感器可以检测交流信号以及物体的振动。人在走动的时候会产生一定规律性的振动，而加速度传感器可以检测振动的过零点，从而计算出人所走的步或跑步所走的步数，从而计算出人所移动的位移，并且利用一定的公式可以计算出卡路里的消耗；日常应用中的一些甩动切歌、翻转静音等。产品代表：ST意法半导体——LSM330D可测量250dps至2000dps的俯仰、滚转和偏航轴角速度。
5. 磁场传感器原理：各向异性磁致电阻材料，感受到微弱的磁场变化时会导致自身电阻产生变化，所以手机要旋转或晃动几下才能准确指示方向。应用：指南针、地图导航方向、金属探测器APP。产品代表：ADI（亚德诺）——ADA4571对气隙变化的敏感度非常小。
6. 陀螺仪原理：角动量守恒，一个正在高速旋转的物体(陀螺)，它的旋转轴没有受到外力影响时，旋转轴的指向是不会有任何改变的。陀螺仪就是以这个原理作为依据，用它来保持一定的方向。一般手机里标配的是三轴陀螺仪，可追踪6个方向的位移变化。应用：一些射击或赛车游戏；3D拍照、全景导航等。产品代表：NXP（恩智浦）——FXAS21002C3轴数字陀螺仪，适用于游戏控制器、电子罗盘稳定、增强运动控制等应用。
7. GPS原理：手机GPS模块通过天线接收GPS卫星传送的信息。模块中的芯片根据高速运动的卫星瞬间位置作为起算数据，根据卫星发射坐标的时间戳与接收时的时间差计算出卫星与手机的距离，采用空间距离后方交会的方法，确定待测点的位置坐标。应用：地图、导航、测速、测距。产品代表：Fastrax——UP501可以在恶劣条件下进行高性能的导航，甚至在较低的GPS卫星可见度环境下实现稳定的定位。
9. 霍尔感应器原理：霍尔磁电效应，当电流通过一个位于磁场中的导体的时候，磁场会对导体中的电子产生一个垂直于电子运动方向上的的作用力，从而在导体的两端产生电势差。应用：自动解锁、自动锁屏等。产品代表：Diodes——AH1883卓越的温度稳定性，对身体压力不敏感。
10. 气压传感器原理：分为变容式或变阻式气压传感器，将薄膜与变阻器或电容连接起来，气压变化导致电阻或电容的数值发生变化，从而获得气压数据。应用：GPS计算海拔会有十米左右的误差，气压传感器主要用于修正海拔误差(将至1米左右)，当然也能用来辅助GPS定位立交桥或楼层位置。产品代表：TI（德州仪器）——BMP180高精度、小体积、超低能耗的气压传感器。
应用于汽车的MEMS 传感器
十五、MEMS 传感器在可穿戴设备领域的应用
在可穿戴智能设备上，传感器的使用更为广泛。Apple Watch 配置的MEMS 传感器超过十种。- 加速度传感器：测量身体运动，并且可以记录用户步数以及睡眠习惯。
- 陀螺仪：可以侦测转动，此外，陀螺仪还能让iWatch“感知”用户，比如举起手腕准备看表时，屏幕自动亮起。
- 磁力计：可以用来提升运动追踪的准确性。
- 晴雨表/气压传感器：提供更准确的天气数据，感知海拔高度的变化
- 环境温度传感器：提供更准确的生物数据
- 心率监控仪：进行心率监控
- 血氧传感器：测量血氧值，对于准确的脉搏率检测至关重要
- 皮肤电导传感器：计算用户的排汗量
- 皮肤温度传感器：可以帮助用户了解自己的健身强度
- GPS：GPS 可以帮助我们了解自己要去哪里，去过哪里
应用于Apple Watch 的MEMS 传感器
MEMS 发展线路图
MEMS 技术在可穿戴设备、智能家居、医疗、工业4.0、智能汽车、智慧城市等IOT 细分领域都有广泛的应用，常见的MEMS 传感器诸如麦克风、体声波滤波器、压力传感器、温度传感器等都存在丰富的应用场景。
MEMS 产品在IOT 应用广泛
十七、MEMS传感器在无人机的应用
1、加速度计：加速度计用于确定位置和无人机的飞行姿态。像任天堂Wii控制器或iPhone屏幕位置，这些小的MEMS传感器在维持飞行控制中起到关键的作用。MEMS加速度传感器有多种方式感知运动姿态，一种类型的技术能够感知微型集成电路的微小运动。另一种加速度计的技术为热对流技术，没有移动部件，而是通过一个“热气团”的位移来感知的运动变化。这类传感器灵敏度较高，在稳定车载摄像机、电影制作等应用起着至关重要的作用。
2、惯性测量单元：惯性测量单元结合GPS是维持方向和飞行路径的关键。随着无人机智能化的发展，方向和路径控制是重要的空中交通管理规则。惯性测量单元采用的多轴磁传感器，在本质上都是精准度极高的小型指南针，通过感知方向将数据传输至中央处理器，从而指示方向和速度。
3、倾角传感器：倾角传感器，集成了陀螺仪和加速度计为飞行控制系统提供保持水平飞行的数据。这类传感器和陀螺仪，结合加速度计，能够测量到细微的运动变化，使得倾角传感器能够应用于移动程序，如汽车或无人驾驶飞机的陀螺仪补偿。
4、大气监测传感器：空气质量的好坏，是人们最关注的一个话题。实时监测空气质量好坏，大气污染程度已经成为一个热点，当然大气监测传感器在其中就起着至关重要的作用。目前 炜盛科技的大气监测传感器已被广泛应用于城市大气环境监测、工厂厂区无组织排放污染气体监测以及环境评价监测等。可监测多种气体，包括：臭氧、一氧化碳、 二氧化硫、二氧化氮等。
5、电流传感器：无人机上的电能消耗和使用非常重要，尤其是在电池供电的情况下。电流传感器可用于监测和优化电能消耗，确保无人机内部电池充电和电机故障检测系统的安全。电流传感器工作通过测量电流（双向），理想的情况下提供电气隔离，以减少电能损耗和消除电击损坏用户系统的机会。
6、磁传感器：在无人机，电子罗盘提供关键性的惯性导航和方向定位系统的信息。基于各向异性磁阻（AMR）技术的传感器，较其他传感器相比有明显的地功耗优势，同时具有高精度、响应时间短等特点，非常适用于无人机的应用。
7、发动机进气流量传感器：流量传感器可以用于有效地监测电力无人机燃气发动机的微小空气流速。许多气体发动机质量流量传感器都采用热式技术，主要利用加热的元件和至少一个温度传感器来量化质量流量。MEMS热式气体质量流量传感器也在微计量范围内利用热原理及其适用于对重量要求较高的领域。
十八、MEMS传感器在智慧工业时代的应用智能工厂利用物联网技术加强信息管理和服务，掌握产销流程、提高生产过程的可控性、减少生产线上人工的干预、及时正确地采集生产线数据，以合理的安排生产计划与生产进度，并优化供应链。传感器应用非常广泛，工业生产各个环节都需要传感器进行监测，并把数据反馈给控制中心，以便对出现异常节点进行及时干预，保证工业生产正常进行。
业界普遍认为，新一代的智能传感器是智能工业的“心脏”，它让产品生产流程持续运行，并让工作人员远离生产线和设备，保证人身安全和健康。
智能工厂应用场景
MEMS让传感器小型化、智能化，MEMS传感器将在智慧工业时代大有可为。MEMS温度、湿度传感器可用于环境条件的检测，MEMS加速度计可以用来监测工业设备的振动和旋转速度。
高精度的MEMS加速度计和陀螺仪可以为工业机器人的导航和转动提供精确的位置信息。 | 
